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1、位移傳感器在科學(xué)與工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,是重要的測量儀器,這是因為位移是壓力、應(yīng)力、速度、加速度、溫度、流量等各種物理量的測量基礎(chǔ)。位移檢測在許多部門都有相當大的需求,如自動裝置、工廠控制、機床、交通控制、土木工程等各個行業(yè)。 位移檢測的好壞往往直接影響著系統(tǒng)的控制效果。高精度的微位移測量系統(tǒng)是機械、儀表、工具、兵器、宇航等產(chǎn)業(yè)獲得位置精度的基礎(chǔ),也是上述產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品及技術(shù)不斷進步的制約因素。在這些方面,光柵尺及激光干涉計量等測量方
2、法以其能夠精確到波長量級的優(yōu)勢成為微位移測量系統(tǒng)的主要代表。而由于以上兩種測量方法存在著系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜、信號處理繁瑣以及成本高等缺點,本文提出了一種基于旋光效應(yīng)的微位移檢測方法,利用這種檢測方法設(shè)計的檢測系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、測量精度高等優(yōu)點。 本文基于石英晶體旋光效應(yīng)分析和研究了線偏振光通過晶體后偏振態(tài)的變化情況,并利用晶體位移與光程的關(guān)系,找到了旋光角度與位移的線性關(guān)系,進而提出一種全新的微位移檢測方法。本文利用瓊斯矩陣
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