半導體芯片測試自動物料傳送設(shè)備的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、自動物料傳送設(shè)備是半導體制造過程中的重要組成部分，該類設(shè)備目前基本被國外及臺灣的設(shè)備公司壟斷。隨著中國電子產(chǎn)品生產(chǎn)的快速增長，自主研發(fā)半導體芯片測試自動物料傳送設(shè)備具有極強的實用性和廣闊的市場前景。
　　 本文針對企業(yè)的實際需求，分析了半導體制造的自動物料傳送系統(tǒng)(AMHS，Automatic Material Handling System)的布局原理，確定了以自動引導小車(AGV，Automatic Guided Vehic

2、le)作為半導體芯片調(diào)度設(shè)備，以測試機臺作為半導體芯片測試設(shè)備的方案，實現(xiàn)了自動物料傳送設(shè)備的設(shè)計，并完成了其控制軟件的開發(fā)。
　　 針對半導體芯片測試自動物料傳送設(shè)備芯片托盤和測試機臺的參數(shù)，詳細分析了半導體芯片測試自動物料傳送設(shè)備機械結(jié)構(gòu)的功能要求與特點，實現(xiàn)了自動引導小車(AGV)、吊籠、夾持機構(gòu)、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、直線機構(gòu)等機械結(jié)構(gòu)的設(shè)計。
　　 針對半導體芯片的數(shù)據(jù)對接，分析了半導體芯片托盤和測試設(shè)備的數(shù)據(jù)線對接結(jié)構(gòu)，

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