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1、光學(xué)顯微鏡、TEM、SEM成像原理比較(轉(zhuǎn)自海龍小站)已有8646次閱讀2007101008:24|個(gè)人分類(lèi):催化網(wǎng)絡(luò)轉(zhuǎn)貼(一)(一)、透射電子顯微鏡、透射電子顯微鏡1、基本原理、基本原理在光學(xué)顯微鏡下無(wú)法看清小于0.2m的細(xì)微結(jié)構(gòu),這些結(jié)構(gòu)稱(chēng)為亞顯微結(jié)構(gòu)(submicroscopicstructures)或超微結(jié)構(gòu)(ultramicroscopicstructures;ultrastructures)。要想看清這些結(jié)構(gòu),就必須選擇波長(zhǎng)
2、更短的光源,以提高顯微鏡的分辨率。1932年Ruska發(fā)明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡(transmissionelectronmicroscope,TEM),電子束的波長(zhǎng)要比可見(jiàn)光和紫外光短得多,并且電子束的波長(zhǎng)與發(fā)射電子束的電壓平方根成反比,也就是說(shuō)電壓越高波長(zhǎng)越短。目前TEM的分辨力可達(dá)0.2nm。電子顯微鏡(圖212)與光學(xué)顯微鏡的成像原理基本一樣,所不同的是前者用電子束作光源,用電磁場(chǎng)作透鏡。另外,由于電子束的穿透力很弱,
3、因此用于電鏡的標(biāo)本須制成厚度約50nm左右的超薄切片。這種切片需要用超薄切片機(jī)(ultramicrotome)制作。電子顯微鏡的放大倍數(shù)最高可達(dá)近百萬(wàn)倍、由電子照明系統(tǒng)、電磁透鏡成像系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、記錄系統(tǒng)、電源系統(tǒng)等5部分構(gòu)成。表22不同光源的波長(zhǎng)不同光源的波長(zhǎng)電子束名稱(chēng)可見(jiàn)光紫外光X射線α射線0.1Kv10Kv波長(zhǎng)(nm)390~76013~3900.05~130.005~10.1230.0122光學(xué)顯微鏡、TEM、SEM成像原理比
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