微流體陀螺測控電路研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著集成電路技術(shù)的成熟發(fā)展，近二十年內(nèi)產(chǎn)生了一種新型的微機電系統(tǒng)(MEMS)。其中，微型慣性測量單元(MIMU)是MEMS技術(shù)的一個重要應(yīng)用領(lǐng)域，而微流體陀螺儀屬于其中的一部分，微流體陀螺的結(jié)構(gòu)簡單，它是一個腐蝕的腔體內(nèi)有一根懸掛的加熱絲和四根熱敏檢測電阻組成。微流體陀螺具有體積小、重量輕、成本低和抗高沖擊等獨特優(yōu)點，有著廣闊的應(yīng)用前景。 本文主要研究內(nèi)容包括以下幾個方面： 1．分析了微流體陀螺的基本原理，結(jié)合微流體陀螺

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