基于DSP的硅微陀螺儀的測控技術研究.pdf

1、過去的幾十年，隨著集成電路技術的成熟和發(fā)展，產(chǎn)生了一種新型的微機電系統(tǒng)(MEMS)。其中，硅微型測量單元是MEMS技術的一個重要應用領域，而硅微型機械陀螺儀是構(gòu)成這種測量單元的核心器件，它具有體積小、重量輕、成本低、動態(tài)特性好、可靠性高等獨特優(yōu)點，有著廣闊的應用前景。
　　 本文介紹了以我們自行設計的一種硅微型兩自由度陀螺儀為研究對象的，利用以DSP為核心的數(shù)字線路結(jié)合模擬線路來實現(xiàn)整個測控系統(tǒng)的完整方案，主要研究內(nèi)容包括以下幾

2、個方面：
　　 1.分析了硅微型兩自由度陀螺儀的動力學特性，概括了陀螺儀驅(qū)動和敏感規(guī)律。
　　 2.結(jié)合兩自由度硅微陀螺儀的特點，在驅(qū)動上討論了公共極板輸入法的驅(qū)動方式，在檢測上利用敏感模態(tài)二倍頻的方式來進行敏感信號的檢測，另外結(jié)合高速數(shù)字線路板的設計技術設計出了以DSP為核心的數(shù)字線路。
　　 3.討論了硅微陀螺儀驅(qū)動和檢測的數(shù)字實現(xiàn)方法，利用DDS的原理通過DSP的PWM來產(chǎn)生硅微陀螺所需的驅(qū)動信號，并且研究