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文檔簡介
1、過去的幾十年，隨著集成電路技術(shù)的成熟和發(fā)展，產(chǎn)生了一種新型的微機電系統(tǒng)(MEMS)。其中，硅微型測量單元是MEMS技術(shù)的一個重要應用領(lǐng)域，而硅微型機械陀螺儀是構(gòu)成這種測量單元的核心器件，它具有體積小、重量輕、成本低、動態(tài)特性好、可靠性高等獨特優(yōu)點，有著廣闊的應用前景。
本文介紹了以我們自行設(shè)計的一種硅微型兩自由度陀螺儀為研究對象的，利用以DSP為核心的數(shù)字線路結(jié)合模擬線路來實現(xiàn)整個測控系統(tǒng)的完整方案，主要研究內(nèi)容包括以下幾
2、個方面：
1.分析了硅微型兩自由度陀螺儀的動力學特性，概括了陀螺儀驅(qū)動和敏感規(guī)律。
2.結(jié)合兩自由度硅微陀螺儀的特點，在驅(qū)動上討論了公共極板輸入法的驅(qū)動方式，在檢測上利用敏感模態(tài)二倍頻的方式來進行敏感信號的檢測，另外結(jié)合高速數(shù)字線路板的設(shè)計技術(shù)設(shè)計出了以DSP為核心的數(shù)字線路。
3.討論了硅微陀螺儀驅(qū)動和檢測的數(shù)字實現(xiàn)方法，利用DDS的原理通過DSP的PWM來產(chǎn)生硅微陀螺所需的驅(qū)動信號，并且研究
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