雙質量硅微陀螺儀模擬測控電路關鍵技術研究.pdf

1、雙質量硅微陀螺儀是一種微型慣性傳感器，它通過哥氏效應使得質量塊被物體帶動旋轉時產生的對應位移來測量轉動角速度。與傳統(tǒng)的陀螺儀相比，硅微陀螺儀不僅具有體積小、重量輕、功耗低、可靠性高等優(yōu)點，而且更易于實現(xiàn)數(shù)字化和智能化，因此在國民經(jīng)濟和國防軍事等領域都有著重要的應用價值和廣闊的應用前景。而雙質量陀螺儀是硅微陀螺儀中較為成熟的一種，其性能的優(yōu)越性已經(jīng)得到了較好的驗證。
　　本文以課題組自行研制的雙質量硅微陀螺儀為研究對象，深入研究其模

2、擬測控電路的若干關鍵技術，包括載波技術、接口技術的理論基礎分析、仿真、設計、制板調試，最終實現(xiàn)模擬測控電路的關鍵技術改進方案，進行測試實驗。本文的主要工作可以歸納為以下幾個方面：
　　(1)概述了目前國內外硅微陀螺儀模擬測控電路的研究現(xiàn)狀，簡單介紹了硅微陀螺儀的主要性能參數(shù)。
　　(2)在介紹硅微機械陀螺儀結構和基本原理的基礎上，分析其動力學原理，建立其動力學模型，通過靜電驅動和電容檢測等主要機電轉換機理為電路特性研究提供基