石英微晶探測器的特性與超聲對晶體生長影響的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本論文的目的是研究石英微晶探測器的性能，并探討超聲對結晶的影響。 石英微晶探測器是利用石英的振蕩頻率隨著在其表面結晶的晶體生長而漂移的原理，通過測量頻率漂移來精確監(jiān)測晶體生長的。本文首先較系統(tǒng)的建立了四種探測器的理論模型，即簡諧振子模型、聲傳輸線模型、等效電路模型及有限元模型，計算了石英晶體共振頻率與結晶厚度之間的關系。然后我們在實驗室建立了一套石英微晶探測器的實驗系統(tǒng)，它由石英探測器、信號采集與處理電路板及微機數(shù)據(jù)采集與處

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