石英晶體微天平的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、　　石英晶體微天平(QCM)作為一種新型的高精度測(cè)量工具，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，測(cè)量精度高，可以實(shí)時(shí)在線地測(cè)量等一系列優(yōu)點(diǎn)?！　?本文在調(diào)研大量的參考文獻(xiàn)的基礎(chǔ)上，對(duì)QCM的工作原理從理論上進(jìn)行了探索。在進(jìn)行理論分析時(shí)，著重于分析獨(dú)立的平面型QCM的工作原理，以石英諧振器的等效電路為基礎(chǔ)，通過詳細(xì)計(jì)算得出諧振器的四個(gè)典型的頻率點(diǎn)，這些頻率點(diǎn)是電路的測(cè)量目標(biāo)。在獨(dú)立平面型QCM的基礎(chǔ)上，對(duì)目前新出現(xiàn)的QCM陣列和加槽型QCM的測(cè)量

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