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1、TSVL<'*>級(jí)40％的氫氟酸是應(yīng)用于大規(guī)模集成電路的一種超凈高純?cè)噭?在集成電路中用于清洗、腐蝕劑.該文對(duì)超凈高純?cè)噭㏕SVL級(jí)40％的氫氟酸的生產(chǎn)、提純及分析作了介紹.并重點(diǎn)研究了如何降低砷雜質(zhì)含量的方法.大膽地引用了無水氫氟酸的提純方法,應(yīng)用于氫氟酸水溶液的提純,得到了滿意的效果,對(duì)選擇適當(dāng)?shù)难趸瘎┳隽舜罅康膶?shí)驗(yàn),確立了一條最佳的除砷路線.即采用過氧化氫做氧化劑,對(duì)40％的氫氟酸內(nèi)所含的砷雜質(zhì)進(jìn)行氧化用以改變砷雜質(zhì)的價(jià)態(tài),使砷雜
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