超光滑表面疵病的顯微散射檢測方法.pdf

1、現(xiàn)代生產(chǎn)和制造業(yè)中，一些高科技產(chǎn)業(yè)對精密儀器表面精度的要求越來越高，精密元件表面疵病對系統(tǒng)性能的影響很大，可能造成系統(tǒng)癱瘓，使其不能正常工作，這就使得表面疵病的檢測勢在必行，如何做到高效化、自動化、數(shù)字化的檢測是一個亟待解決的問題。
　　本文結(jié)合了航天九院對陀螺光腔內(nèi)反鏡的檢測要求，在基于光散射效應(yīng)的表面疵病檢測方法的基礎(chǔ)上，研制了一套利用CCD散射顯微鏡檢測超光滑表面的系統(tǒng)，該系統(tǒng)采用半導(dǎo)體激光光源，使光線以一定的角度入射到陀螺

2、光腔內(nèi)反鏡上，使其表面疵病散射光進入顯微成像系統(tǒng)，在暗背景下得到亮像，方便了圖像的后期處理，該方案解決了前階段通過員工裸眼在顯微鏡下對疵病進行觀察，造成效率低下，人眼疲勞，隨機誤差大等問題;采用四軸電動旋轉(zhuǎn)平移臺，通過計算機控制實現(xiàn)系統(tǒng)的精確移動與定位，實現(xiàn)了該檢測系統(tǒng)的自動化、高效化、數(shù)字化，該旋轉(zhuǎn)臺可保證入射光從任意角度照射到元件表面上，避免了某些疵病在一定角度入射光照射下散射光太弱，進入不到成像系統(tǒng)，不能在暗背景下形成亮像的問題;