基于線光源掃描的光學(xué)元件內(nèi)部疵病檢測(cè).pdf

1、ICF激光驅(qū)動(dòng)器中用到成千上萬(wàn)各種口徑的光學(xué)元件，如果這些光學(xué)元件存在氣泡、雜質(zhì)等內(nèi)部疵病時(shí)，會(huì)嚴(yán)重影響光學(xué)系統(tǒng)的性能，甚至?xí)p壞光學(xué)元件，造成不可估量的損失。因此，研究一種能夠自動(dòng)檢測(cè)光學(xué)元件內(nèi)部疵病的方法，具有重要的意義。
　　本課題正是在這樣的背景下提出來(lái)的，在分析了傳統(tǒng)方法檢測(cè)效率低、檢測(cè)樣品口徑有限、易漏檢等不足之后，根據(jù)米氏散射理論，利用Matlab軟件進(jìn)行了單粒子散射光強(qiáng)度分布的仿真，根據(jù)仿真結(jié)果提出了幾種內(nèi)部疵病檢

2、測(cè)的可能方案。在分析上述方案利弊的基礎(chǔ)上，提出了一種基于掃描的光學(xué)元件內(nèi)部疵病的檢測(cè)方法。在暗場(chǎng)環(huán)境下，利用線光源對(duì)待測(cè)玻璃側(cè)面進(jìn)行照射，利用高分辨率CCD相機(jī)從待測(cè)玻璃的正面進(jìn)行拍攝，經(jīng)過(guò)圖像拼接得到全口徑的疵病圖像，提出了精掃描的方法得到疵病精確的z坐標(biāo)，最后獲取待測(cè)玻璃內(nèi)部疵病的空間分布、粒度統(tǒng)計(jì)等定量分析結(jié)果。
　　為了驗(yàn)證本方法的可靠性，將實(shí)驗(yàn)結(jié)果與顯微鏡測(cè)量的結(jié)果進(jìn)行對(duì)比，結(jié)果表明本文提出的基于掃描的光學(xué)元件內(nèi)部疵病檢