強(qiáng)光光學(xué)元件表面疵病在位檢測系統(tǒng)設(shè)計(jì)與評價(jià)方法研究.pdf

1、在強(qiáng)光工作條件下，表面疵病對光學(xué)元件的影響主要表現(xiàn)為散射，將引起光能消耗、薄膜層損傷等危害，嚴(yán)重影響系統(tǒng)性能。因此在強(qiáng)光光學(xué)元件的加工和應(yīng)用中，表面疵病的檢測越來越受到重視。目前國內(nèi)外現(xiàn)有儀器主要是針對小口徑平面光學(xué)元件進(jìn)行離線檢測，難以滿足使用需求。
　　根據(jù)強(qiáng)光光學(xué)元件表面質(zhì)量的要求，本文以精密機(jī)床為運(yùn)動平臺，基于顯微暗場散射成像方法，建立了光學(xué)加工表面疵病檢測裝置以及對應(yīng)的圖像處理、識別與評價(jià)方法，以實(shí)現(xiàn)大口徑非平面光學(xué)元件

2、微米級疵病的在位檢測。主要研究工作包括：
　　1）以精密機(jī)床為運(yùn)動平臺，通過對均勻照明系統(tǒng)、顯微成像系統(tǒng)、圖像采集與處理系統(tǒng)等組成模塊進(jìn)行規(guī)劃、選型和設(shè)計(jì)，完成強(qiáng)光光學(xué)元件表面疵病在位檢測系統(tǒng)設(shè)計(jì)，滿足檢測范圍、面形和精度要求；
　　2）通過研究加工誤差和裝調(diào)裝置變形量對照明性能的影響、關(guān)鍵結(jié)構(gòu)件的安全性、檢測區(qū)域的光照強(qiáng)度，完成疵病檢測系統(tǒng)性能的影響因素分析，滿足圖像采集和疵病清晰成像的要求；
　　3）對疵病檢測圖像