2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、在芯片制造工藝中,隨著線寬技術(shù)降到32nm以下,相應(yīng)的工藝技術(shù)已經(jīng)快接近物理極限,難以在單一芯片上集成更高密度的電路和更多的功能。目前,基于硅通孔(TSV,Through Silicon Via)的三維封裝技術(shù)被認為是延續(xù)摩爾定律的有效途徑。為了從微觀機理上理解含TSV晶圓在減薄過程中表面損傷的形成機理,本文利用分子動力學方法來模擬含TSV晶圓的減薄過程,對含TSV晶圓中襯底、襯底-絕緣層界面、絕緣層三部分結(jié)構(gòu)的加工機理進行了研究。

2、r>  首先,建立了襯底(單晶硅)的分子動力學減薄模型,并對其在不同載荷下的材料去除機理進行了分析。主要從結(jié)構(gòu)以及受力兩方面分析了單晶硅材料的塑性去除過程,并研究了加載條件對亞表面損傷的影響。結(jié)果表明,在較小的加載條件下,襯底材料是以塑性切削的方式去除,且單晶硅表面只有無定形缺陷產(chǎn)生。減薄速度對襯底亞表面損傷深度有一定的影響,隨著速度的增加襯底損傷深度會出現(xiàn)一些波動。當增大金剛石磨粒半徑、減薄深度時,襯底材料亞表面會出現(xiàn)納米孿晶缺陷。<

3、br>  其次,研究了襯底-絕緣層界面的減薄特性。研究發(fā)現(xiàn),在界面處由于材料的差異,單晶硅原子在壓力作用下發(fā)生的晶格變形比較難以恢復,因此界面處單晶硅的亞表面損傷深度要遠大于其它區(qū)域。
  最后,分析了TSV結(jié)構(gòu)中絕緣層(二氧化硅)材料的減薄特性。研究了絕緣層塑性去除過程中,缺陷在材料內(nèi)部的移動方式。對單晶硅與二氧化硅材料的加工特性進行了對比分析,表明在相同的減薄深度下二氧化硅材料更難以去除,減薄后,TSV結(jié)構(gòu)中襯底-絕緣層界面處

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