連續(xù)激光雙光子聚合微納加工系統(tǒng)研究.pdf

1、雙光子聚合微納加工是一種加工微納結(jié)構(gòu)的技法，其原理是將激光光束在光敏材料內(nèi)會(huì)聚，只有在焦點(diǎn)中心附近的極小區(qū)域內(nèi)才能發(fā)生雙光子吸收聚合反應(yīng)，改變焦點(diǎn)和光敏材料的相對(duì)位置即可“直接寫(xiě)得”任意微納結(jié)構(gòu)。雙光子聚合加工具有無(wú)需掩膜、無(wú)需支撐等優(yōu)點(diǎn)。當(dāng)前，雙光子聚合加工系統(tǒng)普遍采用昂貴的飛秒激光器，本論文提出基于532nm連續(xù)激光器的雙光子聚合加工系統(tǒng)，系統(tǒng)成本低、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，能實(shí)現(xiàn)300μm×300μm×300μm范圍內(nèi)三維微納結(jié)構(gòu)的加

2、工。
　　論文的主要工作包括以下幾個(gè)方面：
　?。?）介紹了雙光子吸收和雙光子聚合效應(yīng)的原理以及搭建雙光子聚合加工系統(tǒng)的關(guān)鍵理論——高斯光束特性和分界面定位算法。
　?。?）從硬件和軟件兩方面介紹了雙光子聚合加工系統(tǒng)的組成：系統(tǒng)硬件包括光源與光路系統(tǒng)、顯微與成像系統(tǒng)和運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，系統(tǒng)軟件基于LabVIEW編寫(xiě)，主要包括激光控制模塊、CMOS成像與分界面定位模塊、路徑規(guī)劃模塊。
　?。?）介紹了通過(guò)跟蹤相機(jī)采集到