激光微加工輔助系統(tǒng)研究.pdf

1、隨著微技術(shù)的不斷發(fā)展，以形狀尺寸微小、操作尺寸極小為特征的微機械已經(jīng)成為人們從微觀角度認識和改造客觀世界的一種高新技術(shù)，激光微加工技術(shù)為加工微小器件提供了新方法，已經(jīng)成為全世界的研究熱點。 本文針對激光微加工系統(tǒng)，分別研究了去除和加成兩種激光微加工系統(tǒng)的部分輔助設(shè)備及其控制系統(tǒng)。 在去除加工方面，以建立準分子激光光刻直寫微加工系統(tǒng)為目標，介紹了準分子激光光刻直寫微加工系統(tǒng)的組成，圍繞可編程運動控制器和精密電移臺，闡述了準

2、分子激光光刻直寫微加工系統(tǒng)控制軟件的設(shè)計方法與具體實現(xiàn)過程。為提高器件設(shè)計的復(fù)雜程度，縮短器件從設(shè)計到加工完成的周期，以AutoCAD為平臺，闡述了準分子激光光刻直寫微加工系統(tǒng)CAM接口的設(shè)計思路，并針對準分子激光微加工系統(tǒng)進行優(yōu)化，準分子激光微加工系統(tǒng)CAM接口軟件，并在準分子激光微加工系統(tǒng)平臺上進行實驗，驗證了CAM接口軟件設(shè)計的正確性。 在加成成型方面，以搭建光纖激光金屬粉末微成型系統(tǒng)為目標，根據(jù)激光鋪粉快速成型加工系統(tǒng)的