激光微加工系統(tǒng)研制.pdf

1、激光微加工技術(shù)作為激光加工技術(shù)的一個新興分支,已被越來越廣泛地應(yīng)用于精密機(jī)械加工、微機(jī)械制造等諸多領(lǐng)域.本文對激光微加工系統(tǒng)中各主要部分的研究和設(shè)計方法進(jìn)行了全面的討論,包括激光微加工機(jī)的單片機(jī)控制器、加工光學(xué)系統(tǒng)、PC機(jī)監(jiān)控軟件等三部分.此外,還討論了激光微加工系統(tǒng)的整體實(shí)現(xiàn)和加工控制方式.激光器輸出的加工光經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)的后,形成符合微加工精度和能量密度要求的加工光斑并聚焦于被加工工件的表面.然后,由單片機(jī)控制器控制激光器、加工平臺以

2、及輔助系統(tǒng)按照預(yù)先設(shè)定的加工模式進(jìn)行加工.在對工件的整個加工過程中,可以通過顯微鏡系統(tǒng)對加工過程進(jìn)行觀察.由于采用了視頻圖象實(shí)時采集技術(shù),還可以通過PC機(jī)對加工過程進(jìn)行監(jiān)視和存儲.在單片機(jī)控制器、光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)和PC機(jī)監(jiān)控軟件的配合下,本激光微加工系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了一種新的加工控制方式.即通過鼠標(biāo)在加工區(qū)域的實(shí)時視頻圖像上繪制加工圖樣,然后由PC計算機(jī)根據(jù)此圖樣自動生成加工控制信息,并通過單片機(jī)控制器控制激光微加工機(jī)進(jìn)行加工.此方式不要求用戶事