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文檔簡介
1、廈門大學博士后士學位論文微系統(tǒng)中的電化學微加工技術——約束刻蝕劑層技術研究姓名:孫建軍申請學位級別:博士后士專業(yè):物理化學指導教師:田昭武2001.5.1摘要紹。2對實驗儀器及實驗中所使用的相關材料作了說明。3介紹了電化學模板的制備方法。包括si模扳的導電鍍層和si模板引線的制作,以及電極的包封技巧。4介紹了用齒狀和金字塔狀兩種模板對半導體的具體加工結果。我們研究了適用于CELT技術刻蝕GaAs的實驗條件,在GaAs上刻蝕出了與模板結構
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