時(shí)柵測(cè)量裝備熱特性的研究及其精度分析.pdf

1、隨著德國(guó)“工業(yè)4.0”高科技戰(zhàn)略計(jì)劃的提出，一場(chǎng)以智能制造為主導(dǎo)的第四次工業(yè)革命悄然爆發(fā)。在場(chǎng)式時(shí)柵位移傳感器各種誤差源中，在工作環(huán)境惡劣的情況下，熱誤差是影響時(shí)柵精度的重要誤差源。而且，隨著時(shí)柵精密度越高，熱誤差所占比例越大，因此減小熱誤差對(duì)提高時(shí)柵傳感器的測(cè)量精度具有至關(guān)重要的意義。綜合國(guó)內(nèi)研究者的研究?jī)?nèi)容，場(chǎng)式時(shí)柵熱誤差的分析主要從時(shí)柵測(cè)量角度表達(dá)式出發(fā)，對(duì)影響測(cè)量角度量旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)角速度、插補(bǔ)脈沖個(gè)數(shù)、插補(bǔ)脈沖信號(hào)的周期這三個(gè)量開(kāi)展

2、研究。
　　本文簡(jiǎn)要介紹時(shí)柵傳感器的理論，將場(chǎng)式時(shí)柵傳感器分成信號(hào)發(fā)生部分和信號(hào)處理部分，從信號(hào)發(fā)生部分和信號(hào)處理部分兩大方面參考國(guó)內(nèi)文獻(xiàn)詳細(xì)分析場(chǎng)式時(shí)柵傳感器的各項(xiàng)誤差源，從各項(xiàng)誤差源中找出影響場(chǎng)式時(shí)柵傳感器的熱誤差項(xiàng)，從場(chǎng)式時(shí)柵位移傳感器的誤差源的分析來(lái)看，這些誤差源不僅種類(lèi)繁多而且大部分定量分析比較困難，熱誤差源的分析將在各個(gè)誤差分析的基礎(chǔ)上進(jìn)行歸類(lèi)分析，得到場(chǎng)式時(shí)柵位移傳感器熱誤差的實(shí)際評(píng)定方法，理論上提出溫度對(duì)場(chǎng)式時(shí)柵傳