聲表面波氣體傳感器的模擬與仿真.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、由于恐怖活動日益猖獗，爆炸物檢測技術(shù)受到了世界各地的廣泛關(guān)注。聲表面波（SAW）技術(shù)因具有靈敏度高、抗輻射能力強(qiáng)、波長短的獨特優(yōu)勢成為了研究熱點。
　　本文以高頻高敏度聲表面波TNT氣體傳感器為研究目標(biāo)。首先，根據(jù)微擾理論對SAW爆炸物傳感器的響應(yīng)機(jī)制進(jìn)行了研究，選定了初始膜厚h0=htrd/10的玻璃-橡膠態(tài)PDMS作為TNT傳感器敏感膜；其次，利用有限元軟件對200MHz延遲線型和諧振型傳感器進(jìn)行建模仿真，結(jié)果表明所得為瑞利波

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