雙聲路聲表面波傳感器的設(shè)計.pdf

1、聲表面波技術(shù)是一門新興科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域,它是聲學(xué)、電子學(xué)、光學(xué)、壓電材料和半導(dǎo)體平面工藝相結(jié)合的邊緣學(xué)科。由于可以通過對聲表面波器件本身參數(shù)的測量,從而實現(xiàn)對如氣體濃度、溫度、質(zhì)量等一些參量的間接測量,因此,目前表面波傳感器成為國際上器件研究的新熱點之一,應(yīng)用領(lǐng)域己滲入到國民經(jīng)濟的各個領(lǐng)域。
　　然而,目前聲表面波傳感器件在器件建模、設(shè)計、測試方面的理論和方案還不夠成熟和系統(tǒng)。本論文正是針對這些問題,從器件建模、設(shè)計、測試等方面進行了

2、系統(tǒng)理論研究和實驗測試。
　　針對聲表面波器件的性能涉及到基片材料的各種參數(shù)、膜厚等工藝等諸多因素,論文將研究兩個或多個電磁波模式間耦合的理論——耦合模理論用于聲表面波器件的設(shè)計和特性仿真中,著重分析了聲表面波器件的內(nèi)部結(jié)構(gòu)以及性能,推算出了聲表面波器件的耦合模方程,求解該方程,得到了方程的解析解,使器件的各種仿真參數(shù)更加準確和逼近實際測量結(jié)果。
　　在對設(shè)計的器件進行了制作、封裝的基礎(chǔ)上,使用AgilentE5062AEN

3、A-L射頻網(wǎng)絡(luò)分析儀對器件的各個參數(shù)進行了測量,并在此基礎(chǔ)上設(shè)計了一款聲表面波器件理論和測量參數(shù)分析軟件,軟件將用耦合模理論得到的各種聲表面波器件參數(shù)曲線圖與使用網(wǎng)絡(luò)分析儀測量得到的參數(shù)曲線圖在同一界面上進行了綜合對比分析。利用所設(shè)計的器件,制作了一個中心頻率為101.764MHz的雙聲路聲表面波傳感器件,器件采用雙聲路結(jié)構(gòu),一路做為參考聲路,另一路做為測量聲路,以補償外界環(huán)境因素的影響,并用安捷倫MSO7032A示波器對兩聲路分別做了