聲表面波加速度傳感器的研究.pdf_第1頁(yè)

文檔簡(jiǎn)介

1、聲表面波(SAW)在十九世紀(jì)八十年代被英國(guó)物理學(xué)家瑞利發(fā)現(xiàn)，隨著聲表面波技術(shù)的發(fā)展，在二十世紀(jì)八十年代，人們開始利用聲表面波器件研制、開發(fā)新型傳感器，聲表面波(SAW)加速度傳感器就是近年來(lái)許多國(guó)家重點(diǎn)研究的一種高性能、低成本的聲表面波傳感器。作為一種靈敏度極高的慣性傳感器，深入研究SAW加速度傳感器的傳感機(jī)理及其檢測(cè)技術(shù)，不僅具有理論意義，而且具有工程實(shí)用價(jià)值本文分析了現(xiàn)有懸臂梁式SAW加速度傳感器存在的一些問題，研究了針對(duì)它們的實(shí)際

2、解決方案和工程設(shè)計(jì)原則。本論文在懸臂梁式SAW加速度傳感器研究方面取得的具體成果有： 1.完成懸臂梁式SAW加速度傳感器的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，提高了SAW加速度傳感器的敏感性、準(zhǔn)確性及其工作性能。 2.對(duì)SAW加速度傳感器差動(dòng)方案進(jìn)行了改進(jìn)，不僅進(jìn)一步抑制了溫度干擾因素對(duì)加速度傳感器的影響，而且降低了其加工制作的難度。 3.研究了階躍加速度慣性力激勵(lì)下，懸臂梁式SAW加速度傳感器差頻輸出的動(dòng)態(tài)響應(yīng)特征，改變了目前SAW加速

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