大面積有序納米結(jié)構(gòu)制備技術(shù).pdf

1、本論文以有序納米結(jié)構(gòu)在高靈敏度生化傳感領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用為背景,針對(duì)目前納米顆粒薄膜及其有序結(jié)構(gòu)自組裝的大面積、低成本、可控制造等技術(shù)瓶頸,以銀為示例材料,在本實(shí)驗(yàn)室成員已有研究的基礎(chǔ)上,對(duì)大面積有序納米結(jié)構(gòu)可控制備方法和工藝技術(shù)展開相應(yīng)基礎(chǔ)研究。主要開展了如下的三種自組裝制備工藝:
　　基于Ostwald Ripening效應(yīng)的納米顆粒薄膜制備技術(shù):采用傳統(tǒng)的磁控濺射鍍膜工藝,對(duì)已沉積納米薄膜硅片基底進(jìn)行表面等離子體處理,通過Ost

2、wald Ripening效應(yīng)實(shí)現(xiàn)粒徑、密度可控的納米顆粒薄膜制備,開發(fā)一種新的納米顆粒薄膜大面積制備技術(shù)。
　　基于物理模板輔助自組裝有序微納結(jié)構(gòu)制備技術(shù):采用傳統(tǒng)的MEMS光刻工藝進(jìn)行不同形貌、不同尺寸的物理模板制備,根據(jù)靜電自聚焦原理,實(shí)現(xiàn)已合成納米顆粒(采用物理氣相凝聚法制備)圓片級(jí)有序納米結(jié)構(gòu)制造,突破大面積自組裝工藝中的技術(shù)難題,探索一致性高、均勻性可靠、可重復(fù)制備的大面積納米結(jié)構(gòu)制備技術(shù)。
　　基于Ag/PDM

3、S自組裝有序微納褶皺結(jié)構(gòu)制備技術(shù):以銀和PDMS作為實(shí)驗(yàn)材料,同樣采用傳統(tǒng)的磁控濺射鍍膜工藝,在預(yù)拉伸PDMS物理基底上沉積Ag納米薄膜,根據(jù)熱沉積過程中金屬與聚合物之間的熱膨脹系數(shù)和彈性模量大不相同,在冷卻過程中自發(fā)形成有序褶皺結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)有序微納褶皺結(jié)構(gòu)大面積制備。對(duì)褶皺結(jié)構(gòu)形貌進(jìn)行表征分析,對(duì)不同特征尺寸褶皺結(jié)構(gòu)進(jìn)行SERS測(cè)試,為其生化傳感應(yīng)用提供一定理論基礎(chǔ)。最終我們實(shí)現(xiàn)了基于Ag/PDMS有序微納褶皺結(jié)構(gòu)的大面積制備,開發(fā)了一