四波橫向剪切干涉波前重構(gòu)技術(shù)研究.pdf

1、四波橫向剪切干涉波前檢測技術(shù)可滿足瞬態(tài)波前檢測的需求，對波前進(jìn)行實(shí)時(shí)高精度測量，但四波橫向剪切干涉圖包含的僅是待測波前的差分相位信息。針對如何從四波橫向剪切干涉圖中精確并快速地重構(gòu)出待測波前這一問題，展開了相關(guān)研究，提出了一套完整的波前重構(gòu)方案。
　　本文首先研究了四波橫向剪切干涉的基本原理，結(jié)合瞬態(tài)波前檢測的需求，確定了波前重構(gòu)的整體方案。第二，研究了基于傅里葉變換的四波橫向剪切干涉圖差分相位提取方法。為減小由頻譜泄露引起的相位

2、提取誤差，詳細(xì)分析討論了干涉圖相位提取過程中濾波器的設(shè)計(jì)和干涉圖的延拓問題。第三，研究了由兩正交方向差分波前恢復(fù)待測波前的傅里葉模式波前重構(gòu)算法。采用對差分波前進(jìn)行鏡像反對稱延拓的方法，消除了重構(gòu)過程中由于邊界不連續(xù)引入的低頻誤差。對一包含多種波像差、幅值為1λ的待測波前四波橫向剪切干涉圖進(jìn)行了波前重構(gòu)仿真，其誤差分布的RMS值為3.97×10-3λ，PV值為4.67×10-2λ，證明了整套波前重構(gòu)算法的有效性。最后，搭建了四波橫向剪切