基于位相光柵的四波橫向剪切干涉法波前檢測技術(shù)研究.pdf

1、從傳統(tǒng)橫向剪切干涉圖恢復原始波前必須采用兩個正交方向的波前差分數(shù)據(jù)，需要調(diào)整儀器以獲得兩幅干涉圖，測量過程復雜。為滿足瞬態(tài)波前的測量要求，本文研究了四波橫向剪切干涉法，可以在一幅干涉圖中提取兩個正交方向的波前差分數(shù)據(jù)以恢復原始波前。
　　第一，研究了四波橫向剪切干涉法的原理，提出了研究四波橫向剪切法波前檢測的方案，設(shè)計了四波橫向剪切法波前檢測光路。
　　第二，為了實現(xiàn)波前分光，并提高光能量利用率，采用標量衍射理論分析了位相光

2、柵的衍射效率，設(shè)計并研制了核心器件—棋盤型位相光柵。分析了二維位相光柵中的正交型位相光柵和棋盤型位相光柵的衍射效率，仿真結(jié)果表明，棋盤型位相光柵(±1，±1)級四支光束總的衍射效率是正交型位相光柵的4倍，實際檢測結(jié)果表明光柵樣品符合設(shè)計要求。
　　第三，基于FFT法和差分Zernike法，設(shè)計了四波橫向剪切干涉圖的波前重構(gòu)方法。FFT法用于從干涉圖中提取差分波前，差分Zernike法用于將差分波前重構(gòu)為待測波前。分析了差分Zern