基于相移剪切干涉的光學(xué)非球面測(cè)試技術(shù)研究.pdf

1、相移式橫向剪切測(cè)量技術(shù)是一種實(shí)時(shí)提取干涉圖信息、直接測(cè)量波面相位分布的光學(xué)測(cè)量方法，采用該技術(shù)使光學(xué)非球面元件的面形測(cè)試精度大大提高，并且實(shí)現(xiàn)了波面的實(shí)時(shí)顯示。 在實(shí)際應(yīng)用中，相移式橫向剪切干涉測(cè)量精度受到相移的準(zhǔn)確性、干涉光場(chǎng)的正弦性、探測(cè)器響應(yīng)的非線(xiàn)性、相移算法選擇的合理性、剪切量提取的準(zhǔn)確性等因素的影響。本文對(duì)相移式橫向剪切干涉測(cè)量中相移器的標(biāo)定誤差、相移算法進(jìn)行了系統(tǒng)的分析和研究；對(duì)CCD探測(cè)器的非線(xiàn)性影響、剪切量的檢測(cè)

2、方法及系統(tǒng)誤差進(jìn)行了分析，得出了一些有益的結(jié)論。本文研究的主要內(nèi)容和結(jié)果如下： 相移器的標(biāo)定精度在很大程度上決定了相移干涉儀的測(cè)量精度。本文提出采用小波數(shù)字濾波與傅立葉變換相結(jié)合的方法對(duì)相移器進(jìn)行標(biāo)定。通過(guò)計(jì)算機(jī)模擬仿真，證明了該標(biāo)定方法的正確性和有效性。 在應(yīng)用相移技術(shù)進(jìn)行相位測(cè)量時(shí)，相移器的相移誤差直接影響相位的測(cè)量精度。本文將快速傅立葉變換技術(shù)和四步相移技術(shù)相結(jié)合，對(duì)相位進(jìn)行補(bǔ)償，并推出相位誤差補(bǔ)償公式。通過(guò)計(jì)算機(jī)