離子膜蝕刻機(jī)的安全控制系統(tǒng)研究.pdf

1、離子膜蝕刻機(jī)是一套用于核孔膜（離子徑跡膜）制備過程中化學(xué)蝕刻階段的裝置，本文研究的離子膜蝕刻機(jī)的安全溫控系統(tǒng)則嘗試將自動化控制方法用于蝕刻裝置中，實現(xiàn)對化學(xué)蝕刻階段的智能化控制，比起傳統(tǒng)的人工控制而言更加精準(zhǔn)，快速便捷，且節(jié)省勞動力,保證了生產(chǎn)的安全性。
　　離子膜蝕刻過程的實現(xiàn)是一套完整的自動化流程，包括放卷過程、堿液蝕刻過程、清洗過程、烘干過程、收卷過程等一系列流程。核孔膜的重要技術(shù)指標(biāo)－膜孔徑，則主要由蝕刻堿液的溫度、濃度和

2、蝕刻時間決定。由于堿液濃度與蝕刻時間都容易操作和控制，因此本文一大控制關(guān)鍵就在于蝕刻池堿液的溫控系統(tǒng)的穩(wěn)定，提高安全系數(shù)。
　　溫控系統(tǒng)是整個蝕刻設(shè)備安全的中心環(huán)節(jié)，主要以多路 PT100構(gòu)成為溫度傳感器網(wǎng)絡(luò)，利用溫度變送器實現(xiàn)電壓信號的轉(zhuǎn)換；采用C8051F340單片機(jī)為主控制器，實現(xiàn)對多路溫度數(shù)據(jù)的 A/D轉(zhuǎn)換；并采用PID控制算法輸出PWM控制量對SSR構(gòu)成的三相交流調(diào)功器進(jìn)行電加熱調(diào)功。文章還對這個過程進(jìn)行了實驗數(shù)據(jù)采集和