一維半導體納米結構可控制備及其光電探測器的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、一維半導體納米線具有獨特的光電特性、柔性和易于集成等特點,因此吸引了科學家們廣泛的關注。然而,制備出基于一維納米線的高性能光電探測器仍然面臨著許多困難。本文利用氣相沉積法制備了高質量的單晶納米線,并且制備出了基于有機納米線陣列或無機核/殼納米線的高性能光電探測器。主要研究結果如下:
  一、首先用金納米顆粒在Si襯底上修飾不同的納米金圖案,然后在此襯底上制備出了高密度、大面積、均勻且交叉站立的圖案化 PTCDA納米線。以沉積有電極

2、對圖案的Si/SiO2為襯底實現(xiàn)了納米線在電極上的選擇性生長,其中納米線在器件溝道上方交叉接觸。這種一步法構筑的基于 PTCDA納米線的光電探測器具有很好的器件性能如很高的靈敏度、很快的響應速度以及在400~800 nm的寬光帶區(qū)都有響應特性等。有機 PTCDA納米線陣列在光電探測器上的成功應用揭示了有機納米線在小型化、柔性化和集成化的光電探測器上具有很大的應用前景。
  二、基于氣相-液相-固相機制,以金顆粒作為催化劑在管式爐里

3、成功的制備出了高密度的Ge納米線。通過原子層氣相沉積(ALD)技術在Ge納米線表面上直接沉積一層 CdS薄膜殼層制備出了Ge/CdS核/殼納米線。經(jīng)過光刻技術去除Ge/CdS核/殼納米線表面的部分CdS薄膜殼層以及經(jīng)過電極沉積后制備出了基于Ge/CdS核/殼納米線異質結型的光電探測器。在0 V以及-5 V的偏壓下,Ge/CdS核/殼納米線異質結光電探測器具有較高的開關比、很快的響應速度以及在可見-近紅外的光電響應性能?;贕e/CdS核

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