應(yīng)用于TOF三維測(cè)距的CMOS圖像傳感器研究.pdf_第1頁(yè)
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1、飛行時(shí)間(Time of Flight, TOF)三維測(cè)距儀器具有體積小、工作速度快等特點(diǎn),廣泛地應(yīng)用于人機(jī)交互、機(jī)器視覺(jué)等多個(gè)領(lǐng)域,有很高的研究?jī)r(jià)值,而圖像傳感器是 TOF三維測(cè)距儀器的關(guān)鍵組成部分。論文針對(duì)應(yīng)用于 TOF三維測(cè)距的CMOS圖像傳感器,設(shè)計(jì)了像素結(jié)構(gòu),優(yōu)化了像素的工藝條件,并在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)了一款CMOS圖像傳感器,論文的主要工作如下:
　　(1)針對(duì)TOF三維測(cè)距方法的特性,對(duì)比分析了CCD和CMOS兩種圖像傳感

2、器的特點(diǎn),確定了用于TOF三維測(cè)距的CMOS圖像傳感器的設(shè)計(jì)要求。
　　(2)在深入分析TOF三維測(cè)距原理的基礎(chǔ)上,給出了通過(guò)測(cè)量調(diào)制信號(hào)四個(gè)相位信息的TOF方法,實(shí)現(xiàn)在圖像傳感器上的三維測(cè)距。
　　(3)為了減小了電荷的橫向傳輸距離,本文設(shè)計(jì)了像素結(jié)構(gòu),采用將像素分成兩部分的方法。并使用TCAD優(yōu)化了N摻雜的注入能量和注入劑量,提高像素的電荷傳輸速度,最后基于0.18mm工藝設(shè)計(jì)了一款256′256的 CMOS圖像傳感器。

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