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文檔簡(jiǎn)介
1、晶體硅太陽(yáng)電池一直占據(jù)光伏市場(chǎng)的主導(dǎo)地位,為了提高晶硅太陽(yáng)電池的轉(zhuǎn)換效率,在硅片表面制備各種減反射微結(jié)構(gòu)以增加光吸收一直是人們研究的熱點(diǎn)。本文圍繞單晶硅表面的光吸收問(wèn)題,在硅片表面分別制備了金字塔、多孔、多層多孔、多孔-金字塔和多層多孔-金字塔等不同的減反射微結(jié)構(gòu)。
在堿溶液各向異性腐蝕單晶硅片制備絨面的過(guò)程中,固定反應(yīng)溫度和添加劑體積分?jǐn)?shù),重點(diǎn)研究了金字塔傾斜角α的大小與反射率間的關(guān)系,并分析了反應(yīng)時(shí)間和NaOH溶液的濃度對(duì)
2、表面織構(gòu)的影響。結(jié)果表明,當(dāng)腐蝕時(shí)間為40min,NaOH質(zhì)量分?jǐn)?shù)為2.5%時(shí),在400-1100nm波長(zhǎng)范圍內(nèi),絨面平均反射率僅為10.54%。通過(guò)Origin軟件對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)擬合,得到反射率與傾斜角度之間的擬合曲線和擬合關(guān)系方程式。
通過(guò)將硅片浸沒(méi)在含有HF/C2H5OH溶液的反應(yīng)釜中,并通入逐漸變化的電流,在硅片表面可以形成折射率漸變的多層多孔硅減反射微結(jié)構(gòu),表面孔洞直徑為20-30nm,在400-1100nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的
3、反射率只有4.5%,利用菲涅爾公式可以很好的解釋多層多孔硅極低的減反射性能。將硅片置于HF/Fe(NO3)3的混合溶液中腐蝕,在硅片表面也會(huì)得到多孔硅結(jié)構(gòu),該多孔結(jié)構(gòu)是大的腐蝕凹坑中分布著許多細(xì)小的孔洞,孔洞直徑在0.1-1μm,在400-1100nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)平均反射率為6%。
通過(guò)在HF/(FeNO3)3溶液中二次化學(xué)腐蝕,在原來(lái)的金字塔結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上得到多孔-金字塔結(jié)構(gòu),這種新結(jié)構(gòu)在400-1000nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的平均反射率
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