MOCVD溫度監(jiān)測(cè)與均勻性研究.pdf

1、MOCVD設(shè)備的研制作為LED產(chǎn)業(yè)的核心技術(shù)之一，在LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展中扮演重要角色。隨著我國對(duì)LED產(chǎn)業(yè)的重視，獨(dú)立自主研發(fā)MOCVD設(shè)備變得十分必要。本文以實(shí)際MOCVD設(shè)備研發(fā)為背景，對(duì)其中的若干技術(shù)問題展開研究。
　　MOCVD設(shè)備研制技術(shù)十分復(fù)雜，包括機(jī)械、工藝、軟件和控制等方面。本文的研究涉及軟件和控制兩個(gè)方面，包括三個(gè)要點(diǎn):第一，提出了MOCVD控制的軟件系統(tǒng)架構(gòu)。從軟件需求分析入手，結(jié)合當(dāng)前主流軟件系統(tǒng)的各自優(yōu)勢(shì)，并根

2、據(jù)分層和模塊化的設(shè)計(jì)思想，討論了軟件系統(tǒng)的層次劃分和層內(nèi)各模塊功能，使用基于CORBA/RPC的通信中間件完成層間實(shí)時(shí)通信。第二，定義實(shí)現(xiàn)了MOCVD溫度控制系統(tǒng)接口。將溫度控制中參數(shù)整定工作放到上位機(jī)進(jìn)行，并設(shè)計(jì)與控制器通訊的接口，提供多種通信協(xié)議。設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)了溫度控制算法的統(tǒng)一接口，為智能算法在溫度控制的應(yīng)用提供可能。同時(shí)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了測(cè)試接口DLL的應(yīng)用程序。第三，提出了基于在線建模和仿生優(yōu)化算法的溫度均勻性控制策略。利用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)在線