Nanosys-1000非球面加工機(jī)床液體靜壓導(dǎo)軌工作特性研究.pdf

1、液體靜壓導(dǎo)軌作為超精密加工機(jī)床的關(guān)鍵基礎(chǔ)部件之一，對機(jī)床的加工精度起著決定性的作用。在查閱國內(nèi)外相關(guān)研究文獻(xiàn)的基礎(chǔ)上，本文對靜壓導(dǎo)軌工作特性及其影響因素進(jìn)行了相關(guān)研究。論文的主要研究工作如下:
　　(1)采用理論建模方法，對半波及全波兩種靜導(dǎo)軌面形誤差下溜板的運(yùn)動直線度進(jìn)行研究，建立了基于靜導(dǎo)軌面形誤差、溜板長度、行程、油膜剛度及油墊對數(shù)的溜板運(yùn)動誤差函數(shù)表達(dá)式，并分析了各參數(shù)對溜板運(yùn)動直線度的影響規(guī)律。
　　(2)采用計算

2、流體力學(xué)方法，建立支承油膜流場模型，對靜壓導(dǎo)軌支承油膜的承載機(jī)理及承載特性進(jìn)行了研究，分析了理論設(shè)計中難以考慮的支承表面粗糙度、油腔深度、節(jié)流孔孔長、節(jié)流孔入口及出口倒角對承載特性影響，研究結(jié)果表明油腔深度對承載特性幾乎不產(chǎn)生影響，其他參數(shù)均會對油膜承載特性產(chǎn)生一定的影響，并通過實(shí)驗(yàn)進(jìn)行了驗(yàn)證。
　　(3)采用有限單元法研究導(dǎo)軌副在油膜壓力及負(fù)載作用下產(chǎn)生的變形對導(dǎo)軌支承剛度及運(yùn)動直線度的影響，得出導(dǎo)軌副在油膜壓力及負(fù)載作用下會產(chǎn)