液體靜壓導(dǎo)軌設(shè)計(jì)優(yōu)化與數(shù)控修形技術(shù).pdf

1、液體靜壓導(dǎo)軌已經(jīng)成為了國(guó)內(nèi)外超精密加工技術(shù)領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)之一。目前液體靜壓導(dǎo)軌核心零部件的加工方式普遍采用超精密磨削加工和手工研磨加工，其中超精密磨削加工對(duì)機(jī)床的精度要求高，加工成本高，而手工研磨加工的加工效率低、成品率低、加工周期長(zhǎng)，因此兩種加工方式都存在局限性。計(jì)算機(jī)控制光學(xué)表面成形技術(shù)（CCOS技術(shù)）已經(jīng)成功運(yùn)用于諸多光學(xué)零件的超精密光學(xué)加工工藝中，該技術(shù)對(duì)機(jī)床精度要求低、加工周期短、成品率高，把 CCOS技術(shù)應(yīng)用于液體靜壓導(dǎo)軌的

2、設(shè)計(jì)、加工為液體靜壓導(dǎo)軌的研發(fā)提供了一種新的思路。本課題針對(duì)機(jī)床對(duì)導(dǎo)軌的需求，結(jié)合 CCOS研磨加工技術(shù)的特點(diǎn)，設(shè)計(jì)了具備可研磨加工性的液體靜壓導(dǎo)軌。基于有限元分析軟件對(duì)液體靜壓支承油膜進(jìn)行了仿真研究，將仿真結(jié)果與理論設(shè)計(jì)模型進(jìn)行對(duì)比驗(yàn)證，補(bǔ)充了理論設(shè)計(jì)的不足，基于精度分配原則和原理，探索了 CCOS研磨金屬平面的基本研磨工藝和抑制邊緣效應(yīng)的工藝，為液體靜壓導(dǎo)軌的設(shè)計(jì)、加工和制造提供了一種新的思路。論文的主要研究工作包括以下幾個(gè)部分：<

3、br>　　1、研究了液體靜壓導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)和核心參數(shù)設(shè)計(jì)。根據(jù)國(guó)內(nèi)外三種典型液體靜壓導(dǎo)軌受力模型的對(duì)比分析，提出具備可研磨加工性的液體靜壓導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，基于液體靜壓支承理論，進(jìn)行了液體靜壓導(dǎo)軌核心參數(shù)設(shè)計(jì)，為精密液體靜壓導(dǎo)軌的設(shè)計(jì)提供了一種新思路。
　　2、仿真研究了液體靜壓導(dǎo)軌液壓油膜的物理特性?；谡n題所設(shè)計(jì)液體靜壓導(dǎo)軌建立液壓油路模型，利用Ansys/Fluen有限元分析軟件研究了簡(jiǎn)化條件下液壓油膜流速、壓力分布等特性，利用仿真結(jié)果

4、擬合出了對(duì)置油墊的無(wú)量綱承載能力、無(wú)量綱油膜剛度和無(wú)量綱流量系數(shù)曲線，為液體靜壓導(dǎo)軌理論設(shè)計(jì)提供數(shù)據(jù)支撐。
　　3、探索了液體靜壓導(dǎo)軌核心零部件CCOS研磨加工工藝?；趯?dǎo)軌零件易加工性和可裝配性，研究分析導(dǎo)軌核心零部件加工精度分配原理，提出導(dǎo)軌核心零部件的總體加工工藝，分析 CCOS邊緣效應(yīng)的成因，探索“大研拋盤”抑制邊緣效應(yīng)加工工藝并進(jìn)行工藝論證實(shí)驗(yàn)，為液體靜壓導(dǎo)軌高精度制造提供指導(dǎo)意見(jiàn)。
　　4、探索了導(dǎo)軌核心零部件的