集成電路精密引線模具微細超聲加工設(shè)備開發(fā)及實驗研究.pdf

1、集成電路是電子信息產(chǎn)業(yè)的心臟，集成電路每1元的產(chǎn)值，可以帶動GDP100元的產(chǎn)值，對國民經(jīng)濟的發(fā)展具有很高的貢獻率。集成電路的發(fā)展離不開高質(zhì)量的鍵合金絲，從而對有硬脆性材料制成的集成電路精密引線模具提出了越來越高的要求。超聲加工技術(shù)是加工硬脆性材料的主要方法，在上述模具的制造過程中扮演著重要的角色。但集成電路精密引線模具孔徑微小，目前尚沒有成熟的具有在線監(jiān)控功能的臥式超聲加工設(shè)備。
　　本文從這一角度出發(fā)，研發(fā)了集成電路精密引線模

2、具臥式超聲加工機床，主要工作內(nèi)容為:1.選擇介電損耗正切值盡可能小，材料的機械品質(zhì)因數(shù)大的壓電陶瓷元件，結(jié)合聲學(xué)、電學(xué)、機械學(xué)設(shè)計結(jié)構(gòu)合理，設(shè)計制造出專用的、高共振頻率的、工作可靠的壓電換能器。2.選取階梯型變幅桿應(yīng)用理論解析法進行分析，得出了變截面桿的振動方程。運用ANSYS軟件對階梯型變幅桿進行了模態(tài)分析和諧響應(yīng)分析，針對諧響應(yīng)分析中所存在的應(yīng)力集中現(xiàn)象進行了結(jié)構(gòu)優(yōu)化和驗證。3.在超聲換能器、變幅桿研究的基礎(chǔ)上，對專用的超聲加工機床