微波毫米波LTCC開關(guān)時(shí)延組件.pdf

1、隨著現(xiàn)代通信行業(yè)的發(fā)展，小型化、輕量化、高可靠性成為目前通信系統(tǒng)的發(fā)展趨勢。時(shí)延組件可廣泛應(yīng)用于電子戰(zhàn)、衛(wèi)星通訊領(lǐng)域，在高精密測量設(shè)備尤其是相控陣?yán)走_(dá)上也有重要作用?，F(xiàn)代通訊系統(tǒng)要求高性能的時(shí)延組件具有較低插入損耗和低色散同時(shí)還應(yīng)滿足小型化、輕量化。
　　低溫共燒陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramic)技術(shù)以其優(yōu)異的射頻性能，成為目前高速高密度三維集成技術(shù)研究發(fā)展的熱點(diǎn)，因此利用 LTCC技術(shù)實(shí)現(xiàn)小

2、型化、輕量化的延遲線，也成為這一領(lǐng)域一種全新的研制方法。
　　本文首先簡述了LTCC技術(shù)的特點(diǎn)，其次對影響LTCC帶狀線延遲線性能的生瓷帶材料，生瓷帶厚度，層間互連形式，帶狀線地，通孔柵，帶狀線內(nèi)埋走線方式等因素進(jìn)行了詳細(xì)的建模研究。
　　在上述研究基礎(chǔ)上，研制出了兩款時(shí)延組件：第一款為X波段六位時(shí)延組件，其工作頻率為8.5-10.5GHz，六位延遲單元可分別實(shí)現(xiàn)1λ、2λ、4λ、8λ、16λ、32λ延遲，其中最大延遲量為6

3、3λ（在中心頻率9.5GHz延遲線長度819.0mm），最小步進(jìn)為1λ，該X波段時(shí)延組件采用27層Ferro A6-M生瓷帶，體積小至46.1mm×40.0mm×14.0mm。第二款為Ka波段六位時(shí)延組件，其工作頻率34.1-34.3GHz，六位延遲單元分別實(shí)現(xiàn)1λ、2λ、4λ、8λ、16λ、32λ延遲。該Ka波段時(shí)延組件采用27層Ferro A6-M生瓷帶，組件體積僅40.0mm×38.2mm×14.0mm。
　　本文在時(shí)延組件