毫米波LTCC電路設(shè)計(jì)技術(shù)研究.pdf

1、低溫共燒陶瓷(Low-Temperature Co-fired Ceramic，LTCC)技術(shù)是共燒陶瓷多芯片組件(MCM-C)中的一種高集成度多層布線封裝技術(shù)。其三維立體結(jié)構(gòu)給傳統(tǒng)的微波毫米波電路與系統(tǒng)設(shè)計(jì)引入了靈活的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)方式，所以進(jìn)行本課題的研究就非常有實(shí)際意義。本文分析并研究了采用LTCC技術(shù)實(shí)現(xiàn)的毫米波電路的理論和設(shè)計(jì)。 本文首先論述了毫米波及其特點(diǎn)，毫米波集成電路及其發(fā)展趨勢，介紹了國內(nèi)外LTCC收發(fā)組件的發(fā)展動(dòng)態(tài)

2、。然后分析了LTCC技術(shù)的工藝流程及特點(diǎn)，以及LTCC技術(shù)的自身優(yōu)勢與不足之處，從工藝角度為利用LXCC技術(shù)實(shí)現(xiàn)毫米波電路的設(shè)計(jì)與制作打下了基礎(chǔ)。 然后本文在LTCC工藝基礎(chǔ)上，對(duì)毫米波電路當(dāng)中常用的一些無源電路結(jié)構(gòu)(包括毫米波層間互連結(jié)構(gòu)、毫米波波導(dǎo)一微帶過渡、毫米波SIW過渡結(jié)構(gòu)、毫米波埋置型端耦合帶通濾波器以及毫米波SIW濾波器)進(jìn)行了研究，并完成了包括前述無源器件的各單元電路的設(shè)計(jì)和加工測試工作。毫米波波導(dǎo)-微帶過渡、毫

3、米波層間互連結(jié)構(gòu)、毫米波SIW過渡結(jié)構(gòu)和毫米波帶通濾波器(包括SIW結(jié)構(gòu)的等效E面膜片濾波器和等效H面膜片濾波器)等結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和加工取得了良好效果，具有實(shí)際使用價(jià)值。而毫米波埋置型端耦合濾波器則由于加工工藝的不穩(wěn)定，造成測試數(shù)據(jù)不夠理想，有待進(jìn)一步改進(jìn)濾波器結(jié)構(gòu)以降低工藝條件對(duì)于器件性能的影響。 在這些單元電路的研究基礎(chǔ)之上，本文進(jìn)行了毫米波LTCC收發(fā)組件整體系統(tǒng)(包括組件的本振鏈路、發(fā)射鏈路、接收鏈路以及偏置網(wǎng)絡(luò))的設(shè)計(jì)和加