微波毫米波前端中的LTCC技術研究.pdf

1、近些年發(fā)展起來的低溫共燒陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramic)技術，即LTCC技術，是MCM-C中的一種最有發(fā)展前途的技術，因其在微波毫米波頻段表現(xiàn)出優(yōu)異的性能，已經(jīng)成為微波毫米波高密度集成技術研究發(fā)展的熱點。本文針對基于LTCC技術的微波毫米波前端設計過程中的部分關鍵問題展開研究，取得了一些有益的成果。主要的研究工作如下：
　　 1．毫米波波導-微帶過渡：由于LTCC工藝的限制，不規(guī)則基板加工

2、困難，傳統(tǒng)的波導-微帶過渡結(jié)構(gòu)不適用于LTCC技術。因此，基于LTCC的特點，本文提出了多種矩形波導-微帶過渡結(jié)構(gòu)，主要包括基于SIR開槽的八毫米波波導-微帶過渡結(jié)構(gòu)、基于E面探針的三毫米波波導-微帶過渡結(jié)構(gòu)和基于介質(zhì)集成波導的三毫米波波導-微帶過渡結(jié)構(gòu)，并且進行加工測試，均獲得了比較理想的性能。
　　 2．微波毫米波帶通濾波器：利用LTCC的多層結(jié)構(gòu)，可以設計出性能優(yōu)異、結(jié)構(gòu)新穎的微波毫米波濾波器。本文提出了U型SIR和折疊型

3、SIR帶通濾波器兩種結(jié)構(gòu)?；诮橘|(zhì)集成折疊波導，本文提出了多種多層帶通濾波器結(jié)構(gòu)，包括基于H面膜片、H面狹槽、H面膜片和狹槽、以及基于雙H面膜片的SIFW帶通濾波器結(jié)構(gòu)。本文提出了一種新型的傳輸結(jié)構(gòu)，即半模介質(zhì)集成折疊波導。基于這種HMSIFW傳輸結(jié)構(gòu)，提出了一種基于H面膜片和狹槽的帶通濾波器結(jié)構(gòu)，實驗證明了濾波器結(jié)構(gòu)的可行性。
　　 3．微波數(shù)字移相器：本文采用傳統(tǒng)的單層介質(zhì)材料對Ku波段六位數(shù)字移相器進行了設計，獲得了良好的

4、實驗結(jié)果。在此基礎上，提出了一種新型帶加載的開關線型移相器結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)可以實現(xiàn)寬帶非色散移相器。采用這種結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了基于LTCC技術的X波段四位數(shù)字移相器，獲得了較好的實驗結(jié)果。
　　 4．毫米波寬帶開關濾波組件：本文提出了一種新型三線帶通濾波器結(jié)構(gòu)，利用該結(jié)構(gòu)和傳統(tǒng)的E面膜片帶通濾波器結(jié)構(gòu)分別實現(xiàn)了覆蓋Ka波段的四路開關濾波組件和兩路開關濾波組件，獲得了良好的實驗結(jié)果。在此基礎上，設計完成了基于LTCC技術的18-40GHz的