減少塑封過(guò)程中外來(lái)物的研究.pdf

1、在半導(dǎo)體塑封工藝中，會(huì)產(chǎn)生一種稱(chēng)之為外來(lái)物（Foreign Material,FM）的不良品。從外觀上看，這種不良品的特征是塑封體表面或內(nèi)部附著有其它東西。它不僅會(huì)造成塑封體外觀失效、字模不清，嚴(yán)重的還可以造成塑封成型不完整，甚至電路短路現(xiàn)象。對(duì)于公司而言，如果不良品流入顧客手中，不僅會(huì)對(duì)顧客產(chǎn)品造成不可預(yù)期的影響，而且公司也將收到顧客抱怨，影響公司產(chǎn)品質(zhì)量等級(jí)。這種不良品的產(chǎn)生隨著綠色塑封料的使用而變得越來(lái)越頻繁，所以如何在不影響生產(chǎn)

2、任務(wù)的前提下，降低外來(lái)物的百萬(wàn)分率（Part Per Million,PPM）成為一個(gè)重要的急需解決的技術(shù)難題。
　　本文通過(guò)對(duì)外來(lái)物樣品的分析與對(duì)綠色塑封料的深入研究，找到SOT23產(chǎn)生外來(lái)物的幾個(gè)重要原因，不僅與機(jī)器及模具的設(shè)計(jì)有關(guān)，而且與塑封料的成分配方密切相關(guān)。針對(duì)TOWA公司自動(dòng)模機(jī)及其模具的特點(diǎn)，分析外來(lái)物產(chǎn)生的機(jī)理；通過(guò)實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)（Design of Experiment，DOE）找到其產(chǎn)生的幾個(gè)重要影響因子，并據(jù)此通