微觀表面三維形貌檢測(cè)系統(tǒng)的研究.pdf

1、隨著表面加工技術(shù)和三維形貌檢測(cè)技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)表面加工精度和形貌檢測(cè)精度要求越來(lái)越高，而傳統(tǒng)的檢測(cè)技術(shù)已經(jīng)不能滿足這樣的需求，基于光學(xué)干涉原理的檢測(cè)具有無(wú)損傷、精度高的優(yōu)點(diǎn)，具有巨大的發(fā)展前景和市場(chǎng)前景，目前大多還處于實(shí)驗(yàn)室研究階段，市場(chǎng)化很少且價(jià)格昂貴，因此對(duì)高測(cè)量精度、穩(wěn)定可靠、操作簡(jiǎn)單、易于市場(chǎng)化的光學(xué)儀器三維形貌檢測(cè)系統(tǒng)的研究具有極其重要的意義。
　　本論文基于微分移相干涉檢測(cè)基本原理、橫向剪切原理及技術(shù)方法，搭建了不需

2、要隔震臺(tái)、測(cè)量方便、高檢測(cè)效率、高測(cè)量精度的微觀表面三維形貌檢測(cè)系統(tǒng)，該系統(tǒng)能夠工作在普通的環(huán)境而不需隔震臺(tái)。通過(guò) Labview軟件編程實(shí)現(xiàn)了檢偏器部分和CCD采集圖像部分的自動(dòng)控制，利用可編程邏輯控制器控制二維平移臺(tái)實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)自動(dòng)化、大范圍的測(cè)量功能。可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定可靠、大范圍的精確檢測(cè)，且具有操作簡(jiǎn)單、測(cè)量精度高的優(yōu)點(diǎn)。
　　本系統(tǒng)通過(guò)在無(wú)隔震臺(tái)和有隔震臺(tái)兩種裝置條件下，對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品包括IC晶圓片、光學(xué)器件和電腦硬盤(pán)片分別進(jìn)行表

3、面形貌檢測(cè)，得到兩種條件下的表面形貌粗糙度，通過(guò)計(jì)算粗糙度重復(fù)測(cè)量精度，對(duì)比兩種條件下的檢測(cè)精度和檢測(cè)效果：有隔震臺(tái)條件下，檢測(cè)精度高，但是操作復(fù)雜、檢測(cè)效率低、測(cè)量范圍?。粺o(wú)隔震臺(tái)條件下，檢測(cè)精度稍低，但是具有操作簡(jiǎn)單、檢測(cè)效率高、測(cè)量范圍大的優(yōu)點(diǎn)，可以滿足大多數(shù)的微觀表面檢測(cè)要求。
　　本系統(tǒng)通過(guò)在無(wú)隔震臺(tái)條件下的大量測(cè)量實(shí)驗(yàn)，重點(diǎn)分析了系統(tǒng)的垂軸分辨率、軸向分辨率、粗糙度重復(fù)測(cè)量精度和縱向高度重復(fù)測(cè)量精度四項(xiàng)性能參數(shù)以及由于