高溫壓力傳感器的特性測(cè)試技術(shù)研究.pdf

1、本文主要是對(duì)一個(gè)以硅壓阻式壓力傳感器為核心敏感元件、且具有特殊的隔熱、儲(chǔ)熱和傳壓結(jié)構(gòu)的高溫壓力傳感器進(jìn)行特性測(cè)試技術(shù)的研究，根據(jù)傳感器的原理、實(shí)際測(cè)試的環(huán)境和目的不同，高溫壓力傳感器的測(cè)試技術(shù)及方法也不同。為了確保其壓力測(cè)試不失真，本文從靜態(tài)和動(dòng)態(tài)兩方面分析其測(cè)試的方法，并完成測(cè)試及標(biāo)定，最終獲得靜態(tài)和動(dòng)態(tài)模型，得出高溫壓力傳感器的各項(xiàng)性能參數(shù)；為了確保傳感器在高溫環(huán)境下工作穩(wěn)定，且精度較高，本文通過與溫度傳感器及單片機(jī)技術(shù)相結(jié)合，設(shè)計(jì)

2、了傳感器的測(cè)試電路，降低了溫度對(duì)傳感器測(cè)試的干擾，完成了傳感器的高溫可靠性測(cè)試，實(shí)現(xiàn)了信號(hào)的準(zhǔn)確采集。
　　高溫壓力傳感器動(dòng)態(tài)測(cè)試方面，主要通過分析傳感器的動(dòng)態(tài)測(cè)試技術(shù)及頻率特性，采用適合高頻壓力傳感器的動(dòng)態(tài)測(cè)試法——激波管法，設(shè)計(jì)了傳感器的測(cè)試電路。根據(jù)輸出確定傳感器的頻率響應(yīng)特性及主要?jiǎng)討B(tài)參數(shù)，最后采用FFT算法分析得出傳感器的頻率特性，也得出動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng)中傳壓管對(duì)其的影響。
　　高溫壓力傳感器靜態(tài)測(cè)試方面，主要通過理論

3、分析和應(yīng)用于高溫低氣壓環(huán)境，搭建了一個(gè)簡單可靠的壓力測(cè)試系統(tǒng)，通過試驗(yàn)，得出傳感器測(cè)試量與標(biāo)準(zhǔn)壓力值間的關(guān)系，最后得出傳感器具有良好的靜態(tài)特性，及良好的線性度、穩(wěn)定度、重復(fù)性、遲滯性等。
　　高溫壓力傳感器的高溫可靠性測(cè)試方面，主要分析了溫度對(duì)傳感器工作穩(wěn)定性及測(cè)試精度的影響，根據(jù)實(shí)際應(yīng)用的情況，結(jié)合溫度傳感器與單片機(jī)技術(shù)，提出了壓力傳感器壓力溫漂值的彌補(bǔ)法，實(shí)現(xiàn)了高溫壓力傳感器的高溫可靠性測(cè)試，得出了溫度對(duì)其特性指標(biāo)的影響，確保