SIMOX高溫壓力傳感器的技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、高溫壓力傳感器是指其工作溫度高于125℃的壓力傳感器.高溫壓力傳感器以其優(yōu)良的高溫工作能力在壓力傳感器中一直受到高度重視,是傳感器研究的重要領(lǐng)域之一,也是各國政府所努力掌握的高技術(shù)之一.該論文研究以SIMOX(Seperated by Ion Implant Oxide)片制造高溫壓力傳感器,進(jìn)行了傳感器的芯片設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及工藝設(shè)計(jì)研究.采用半導(dǎo)體平面工藝制作壓力傳感器的芯片,芯片采用各向異性腐蝕工藝進(jìn)行加工,芯片與固支環(huán)之間采用靜電

2、封接工藝封裝在一起,然后用金漿燒結(jié)在可伐合金基座上,制成耐高溫壓力傳感器.傳感器芯片采用方型膜片,在平面工藝中,提出了各向異性腐蝕工藝來提高電阻條加工精度,對芯片采用KOH溶液進(jìn)行刻蝕,提出了三種提高膜厚一致性的方法,對研制的產(chǎn)品進(jìn)行了耐高溫沖擊,耐高低溫性能測試及溫漂補(bǔ)償.傳感器熱靈敏度溫漂及熱零點(diǎn)溫漂具有良好的線性,且斜率基本一致,便于進(jìn)行補(bǔ)償.研制出的SIMOX高溫壓力傳感器具有結(jié)構(gòu)簡單、與半導(dǎo)體工藝兼容、適用于大批量生產(chǎn)等特點(diǎn).

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