基于高溫高精度壓力傳感器的數(shù)據融合技術研究.pdf

1、基于高溫高精度壓力傳感器的數(shù)據融合技術研究主要研究高溫高精度壓力傳感器敏感元件的材料及其設計過程和制造工藝；溫度傳感器的NTC電阻器的制造方法及其工藝過程；USB數(shù)據采集系統(tǒng)的設計；數(shù)據融合算法的研究和系統(tǒng)上位機界面軟件設計。
　　 研究高溫高精度壓力傳感器的設計，其工作原理以及制作方法是采用MEMS技術在藍寶石為絕緣襯底上制成四個矸力敏電阻，制成硅—藍寶石力敏元件，將力敏元件燒結在鈦合金彈性膜片上，在壓力作用下，鈦合金膜片產生

2、形變，該形變被硅—藍寶石力敏元件檢測到，并輸出與被測壓力成正比的電信號，從而實現(xiàn)壓力測量。重點研究高溫壓力敏感元件材料的特點，彈性膜片的形狀以及尺寸的設計，彈性膜片上電阻的布局及電阻條尺寸的設計。研究溫度傳感器的設計，利用熱阻效應工作原理，選用NTC熱敏電阻作為溫敏元件，與其他電阻構成測溫電橋，輸出與被測溫度成反比的電信號，從而實現(xiàn)溫度測量。著重闡述NTC電阻器的結構及制造工藝。重點分析壓力傳感器和溫度傳感器的輸出信號經USB數(shù)據采集系