亞波長(zhǎng)抗反射光柵的設(shè)計(jì)與制作.pdf

1、該文從理論和實(shí)驗(yàn)兩個(gè)方面對(duì)亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了較為詳細(xì)和系統(tǒng)的論述,運(yùn)用等效介質(zhì)理論對(duì)其進(jìn)行重點(diǎn)分析,設(shè)計(jì)制作了抗反射光柵樣品,并用耦合波理論對(duì)設(shè)計(jì)結(jié)果進(jìn)行了檢驗(yàn).內(nèi)容簡(jiǎn)述如下:(1)詳細(xì)論述了等效介質(zhì)理論,推導(dǎo)了亞波長(zhǎng)光柵結(jié)構(gòu)的零級(jí)和二級(jí)等效系數(shù)的表達(dá)式,討論了等效介質(zhì)理論成立的條件,并對(duì)影響等效系數(shù)的因素進(jìn)行了分析.為了消除亞波長(zhǎng)光柵的偏振敏感性,將等效介質(zhì)理論推廣到二維結(jié)構(gòu),對(duì)一種特定的矩狀結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析,構(gòu)造了一種分析方法,即將這種

2、二維結(jié)構(gòu)看作兩個(gè)相互垂直的一維光柵結(jié)構(gòu)的組合,然后利用光柵結(jié)構(gòu)的有關(guān)表達(dá)式獲得這種二維結(jié)構(gòu)的近似等效系數(shù),對(duì)二維亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計(jì).(2)運(yùn)用耦合波理論對(duì)一維矩形亞波長(zhǎng)光柵結(jié)構(gòu)的衍射進(jìn)行了分析,并運(yùn)用到二維亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu),得到了TE和TM偏振狀態(tài)的衍射耦合波方程.將結(jié)果用來驗(yàn)證上述的設(shè)計(jì),證明了設(shè)計(jì)的有效性.(3)采用二元光學(xué)的方法在硅襯底材料表面實(shí)驗(yàn)制作了正方柱形抗反射浮雕光柵,分析和測(cè)試了樣品的表面形貌和透射譜線.樣品在中心波長(zhǎng)10.6