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文檔簡介
1、超精密加工及其超精密檢測技術(shù)是精密工程領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)，而超精密軸系則是超精密測量系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。在航天、航空、核能等領(lǐng)域，某些微小慣性器件、微機(jī)械精密零件需要用微小型測試系統(tǒng)進(jìn)行圓度或球度的測量。例如慣性約束聚變0.1～0.5mm直徑的微小激光靶球球度測試，需要在顯微鏡小空間下進(jìn)行高精度測試作業(yè)，這就要求小尺寸和高精度的測量軸系。因此，高精度微小型氣浮軸系關(guān)鍵技術(shù)研究對(duì)實(shí)際工程應(yīng)用具有重要意義。 本論文從超精密軸系設(shè)計(jì)理論出發(fā)，
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