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文檔簡介
1、研究小量程壓力傳感器的目的在于解決小量程壓力環(huán)境下的壓力測量問題。針對傳統(tǒng) MEMS壓力傳感器在測量小量程壓力時靈敏度會下降的問題，本文設(shè)計了一種小量程壓力傳感器。鑒于電容式傳感器在測量小量程壓力時的潛在優(yōu)勢，傳感器采用電容結(jié)構(gòu)，基于變間隙式平行板電容器的原理來測量壓力。目前，利用表面微加工工藝來生產(chǎn)MEMS器件已經(jīng)成為實現(xiàn)MEMS器件微型化、小成本、低功耗、集成化、智能化、系列化和標(biāo)準(zhǔn)化的重要途徑。本文以表面微加工工藝為設(shè)計思路，提出
2、了一種超薄壓敏極板的制備方法。傳感器壓敏極板極板厚度僅為3μm，從而可以提高傳統(tǒng)MEMS電容式壓力傳感器測量小量程壓力時的靈敏度。
本文對小量程MEMS電容式壓力傳感器的研究從下面三個方面進行：傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計、傳感器力學(xué)性能和電容響應(yīng)的有限元分析仿真以及傳感器芯片的工藝研究。以解決小量程壓力測量的難點為目標(biāo)和出發(fā)點，設(shè)計了傳感器的整體結(jié)構(gòu)；采用理論與仿真相互結(jié)合的研究方法，借助有限元分析軟件模擬了傳感器的性能；基于表面微加工
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