基于Mirau干涉顯微鏡的微光學表面參數(shù)測量研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、微光學表面參數(shù)決定著光學元件的成像質(zhì)量,由于微表面的口徑很小,一般干涉儀對其表面參數(shù)無法做到精確測量。本文將顯微鏡與干涉儀相結合,研制了由Mirau型干涉顯微鏡和超聲波電機移相器組成的數(shù)字式顯微干涉系統(tǒng),采用顯微干涉術,以表面形貌和球面曲率半徑為研究對象,分別從條紋法和移相法兩個方面對其測量方法和其中涉及到的技術進行研究。
   條紋法中,以對單幅干涉圖像的預處理為基礎,根據(jù)被細化后的條紋圖,重點研究了利用條紋圖上的信息測量球面

2、曲率半徑的非線性最小二乘算法,較好地克服了噪聲的影響。移相法是通過對多幅干涉圖進行相位復原測量來獲得曲率半徑和表面形貌的方法。受噪聲影響,傳統(tǒng)解包裹算法不能夠正確解包,在此基礎上,本文采用了基于路徑優(yōu)先搜索的相位解包的改進算法,并通過對實際干涉圖像的處理表明,即使存在較大的噪聲,該方法也能準確的獲得相位展開結果。利用移相法計算球面曲率半徑時會受到移相誤差的影響,因此本文采用了重疊四步平均算法,該算法能夠很好的抑制移相誤差,且實際測量表明

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