基于Mirau干涉顯微鏡的微光學(xué)表面參數(shù)測(cè)量研究.pdf

1、微光學(xué)表面參數(shù)決定著光學(xué)元件的成像質(zhì)量，由于微表面的口徑很小，一般干涉儀對(duì)其表面參數(shù)無法做到精確測(cè)量。本文將顯微鏡與干涉儀相結(jié)合，研制了由Mirau型干涉顯微鏡和超聲波電機(jī)移相器組成的數(shù)字式顯微干涉系統(tǒng)，采用顯微干涉術(shù)，以表面形貌和球面曲率半徑為研究對(duì)象，分別從條紋法和移相法兩個(gè)方面對(duì)其測(cè)量方法和其中涉及到的技術(shù)進(jìn)行研究。
　　 條紋法中，以對(duì)單幅干涉圖像的預(yù)處理為基礎(chǔ)，根據(jù)被細(xì)化后的條紋圖，重點(diǎn)研究了利用條紋圖上的信息測(cè)量球面

2、曲率半徑的非線性最小二乘算法，較好地克服了噪聲的影響。移相法是通過對(duì)多幅干涉圖進(jìn)行相位復(fù)原測(cè)量來獲得曲率半徑和表面形貌的方法。受噪聲影響，傳統(tǒng)解包裹算法不能夠正確解包，在此基礎(chǔ)上，本文采用了基于路徑優(yōu)先搜索的相位解包的改進(jìn)算法，并通過對(duì)實(shí)際干涉圖像的處理表明，即使存在較大的噪聲，該方法也能準(zhǔn)確的獲得相位展開結(jié)果。利用移相法計(jì)算球面曲率半徑時(shí)會(huì)受到移相誤差的影響，因此本文采用了重疊四步平均算法，該算法能夠很好的抑制移相誤差，且實(shí)際測(cè)量表明