基于米洛干涉顯微鏡的表面粗糙度的測量.pdf

1、表面粗糙度是表面微觀不平整度的一種度量，它對光學元件和機械零件的性能有著重要影響。表面粗糙度的測量在工業(yè)加工領(lǐng)域得到了越來越多的重視。傳統(tǒng)測量表面粗糙度的方法有比較法，觸針法，光切法，干涉法等，但這些方法都各自存在一定的缺陷。因此需要提出一種新的方法來克服這些缺陷。
　　 為了實現(xiàn)樣塊表面粗糙度參數(shù)的快速，無損，自動測量，研究了一種新的表面粗糙度測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)是在米洛干涉顯微鏡的基礎(chǔ)上，結(jié)合數(shù)字圖像處理技術(shù)，實現(xiàn)樣品表面粗糙度

2、的測量。該系統(tǒng)主要由米洛干涉顯微鏡，CCD攝像機，計算機和超聲波電機組成。首先通過米洛干涉顯微系統(tǒng)對樣塊表面干涉成像，然后將由CCD攝像機采集到的干涉圖像，送入計算機進行存儲。然后利用數(shù)字圖像處理技術(shù)對干涉圖像進行預(yù)處理，二值化，細化，提取出樣塊表面產(chǎn)生的干涉條紋信息。最后對提取的干涉條紋進行最小二乘直線擬合，求出樣塊表面粗糙度的評定參數(shù)。此外，該系統(tǒng)還可以實現(xiàn)對薄膜厚度小于半波長的薄膜進行測量。
　　 與傳統(tǒng)的測量方法相比，本