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文檔簡介
1、聲表面波技術(shù)是聲學(xué)和電學(xué)結(jié)合的一門邊緣學(xué)科。由于其特有的性質(zhì),使其很容易的模擬出電子學(xué)的各種功能,并且實現(xiàn)多功能化和小型化。聲表面波濾波器就是結(jié)合了聲表面波的各種優(yōu)勢,在無線數(shù)據(jù)傳輸、通信等領(lǐng)域獲得了廣泛的應(yīng)用。
近年來,隨著第三代移動通訊系統(tǒng)的飛速發(fā)展,對雙工器和聲表面波濾波器市場代來了巨大的需求,高頻、低損耗的聲表面波器件成為主要的研究對象。但傳統(tǒng)的聲表面波材料,由于其聲速低,一般低于4000m/s,所以對于高頻的聲表
2、面波器件來說對于制造叉指的光刻工藝提出了更高的要求。為了獲得高頻的聲表面波器件我們還可以在叉指寬度不變的前提下,提高基底材料的聲速。GHz頻段的高頻聲表面波(SAW)器件,SAW波長很短(幾個μm),基片表面粗糙、缺陷和晶界均容易造成散射產(chǎn)生能量損失。所以,對于制造高頻金剛石多層膜SAW器件來說,所關(guān)心的是CVD金剛石膜平面度、光潔度,缺陷密度造成的聲傳播損失等,而雜質(zhì)控制則是次要的要求。類金剛石(DLC)薄膜具有和金剛石薄膜相近的硬度
3、、抗磨性、高電阻率、耐化學(xué)腐蝕性能,而且表面光滑、缺陷少、沉積溫度低、面積大、成本低廉、易于和集成電路兼容,所以類金剛石(DLC)薄膜已成為近20多年來材料科學(xué)研究領(lǐng)域的熱點。DLC薄膜是指一系列含sp3鍵的非晶態(tài)碳膜,而且其中的sp3/sp2的比例可以根據(jù)不同的應(yīng)用進(jìn)行調(diào)節(jié)。研究表明,sp2鍵決定DLC薄膜的電學(xué)和光學(xué)特性,sp3鍵決定著DLC薄膜的力學(xué)性能,因此sp2和sp3鍵的比例直接影響著DLC薄膜的最終性能,這些特性使其成為一
4、種用途廣泛新型材料。
本試驗利用等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)制備了類金剛石薄膜,并利用原子力顯微鏡(AFM)、傅立葉紅外光譜儀(FTIR)、拉曼光譜分析儀和紫外分光光度計對DLC薄膜樣品的表面形貌和微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行了詳細(xì)的測量和分析。
本論文還重點研究了聲表面波濾波器和叉指換能器的基本特性,并且介紹了聲表面波、叉指換能器及SAW濾波器的基本原理。在此基礎(chǔ)上論述了SAW濾波器的設(shè)計方法。
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