多層膜聲表面波濾波器的優(yōu)化設(shè)計(jì).pdf

1、聲表面波技術(shù)是聲學(xué)和電學(xué)結(jié)合的一門(mén)邊緣學(xué)科。由于其特有的性質(zhì)，使其很容易的模擬出電子學(xué)的各種功能，并且實(shí)現(xiàn)多功能化和小型化。聲表面波濾波器就是結(jié)合了聲表面波的各種優(yōu)勢(shì)，在無(wú)線(xiàn)數(shù)據(jù)傳輸、通信等領(lǐng)域獲得了廣泛的應(yīng)用。
　　 近年來(lái)，隨著第三代移動(dòng)通訊系統(tǒng)的飛速發(fā)展，對(duì)雙工器和聲表面波濾波器市場(chǎng)代來(lái)了巨大的需求，高頻、低損耗的聲表面波器件成為主要的研究對(duì)象。但傳統(tǒng)的聲表面波材料，由于其聲速低，一般低于4000m/s，所以對(duì)于高頻的聲表

2、面波器件來(lái)說(shuō)對(duì)于制造叉指的光刻工藝提出了更高的要求。為了獲得高頻的聲表面波器件我們還可以在叉指寬度不變的前提下，提高基底材料的聲速。GHz頻段的高頻聲表面波(SAW)器件，SAW波長(zhǎng)很短(幾個(gè)μm)，基片表面粗糙、缺陷和晶界均容易造成散射產(chǎn)生能量損失。所以，對(duì)于制造高頻金剛石多層膜SAW器件來(lái)說(shuō)，所關(guān)心的是CVD金剛石膜平面度、光潔度，缺陷密度造成的聲傳播損失等，而雜質(zhì)控制則是次要的要求。類(lèi)金剛石(DLC)薄膜具有和金剛石薄膜相近的硬度

3、、抗磨性、高電阻率、耐化學(xué)腐蝕性能，而且表面光滑、缺陷少、沉積溫度低、面積大、成本低廉、易于和集成電路兼容，所以類(lèi)金剛石(DLC)薄膜已成為近20多年來(lái)材料科學(xué)研究領(lǐng)域的熱點(diǎn)。DLC薄膜是指一系列含sp3鍵的非晶態(tài)碳膜，而且其中的sp3/sp2的比例可以根據(jù)不同的應(yīng)用進(jìn)行調(diào)節(jié)。研究表明，sp2鍵決定DLC薄膜的電學(xué)和光學(xué)特性，sp3鍵決定著DLC薄膜的力學(xué)性能，因此sp2和sp3鍵的比例直接影響著DLC薄膜的最終性能，這些特性使其成為一

4、種用途廣泛新型材料。
　　 本試驗(yàn)利用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)制備了類(lèi)金剛石薄膜，并利用原子力顯微鏡(AFM)、傅立葉紅外光譜儀(FTIR)、拉曼光譜分析儀和紫外分光光度計(jì)對(duì)DLC薄膜樣品的表面形貌和微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行了詳細(xì)的測(cè)量和分析。
　　 本論文還重點(diǎn)研究了聲表面波濾波器和叉指換能器的基本特性，并且介紹了聲表面波、叉指換能器及SAW濾波器的基本原理。在此基礎(chǔ)上論述了SAW濾波器的設(shè)計(jì)方法。