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1、隨著通信系統(tǒng)向高頻率和高比特速率的發(fā)展，對(duì)聲表面波（SAW）器件的頻率要求也越高，GHz 范圍的高頻SAW 器件研究是目前的熱點(diǎn)。
SAW 器件向高頻化發(fā)展，主要由兩方面決定：一是器件的叉指換能器線(xiàn)條向更微細(xì)化方向發(fā)展，二是器件材料的SAW 聲速向更高方向發(fā)展。器件線(xiàn)條的微細(xì)化可以直接提高器件的工作頻率，利用納米壓印技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)低成本的，納米級(jí)微細(xì)線(xiàn)條的制備。本論文研究基于納米壓印技術(shù)的高頻聲表面波濾波器的制備。
2、 介紹了聲表面波技術(shù)背景，概述了叉指換能器、聲表面波濾波器的基本理論，并詳細(xì)推導(dǎo)了叉指換能器的δ模型和等效電路。闡述了帶通聲表面波濾波器的主要設(shè)計(jì)方法，比較了各種窗口函數(shù)加權(quán)減低旁瓣的效果，選用漢明窗加權(quán)的變跡叉指換能器，設(shè)計(jì)出了中心頻率為100MHz，帶寬10MHz的SAW 帶通濾波器，并用MATLAB 仿真了其頻響。
利用納米壓印技術(shù)對(duì)聲表面波濾波器進(jìn)行制備，獲得了高頻聲表面波濾波器的制備工藝流程。實(shí)驗(yàn)獲得了叉指電
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