基于DSP的VCM伺服控制系統(tǒng)的研制.pdf

1、隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)與納米加工、測量技術(shù)的蓬勃發(fā)展,無論是科學(xué)研究,還是工業(yè)生產(chǎn)對物理實(shí)體幾何尺寸的加工和測量精度要求都發(fā)展到了微/納米級。因此對加工和測量環(huán)境也提出了更高的要求,通常需要恒溫、凈噪等條件。然而振動(dòng)干擾無處不在,且很難根本消除,所以低頻微振動(dòng)的抑制與隔離便成了微/納米加工、測量中極其重要的一個(gè)研究課題。在主動(dòng)抗振的研究、應(yīng)用領(lǐng)域,采用音圈電機(jī)的主動(dòng)吸振器來吸收低頻微振動(dòng)越來越受到人們的親睞。因其具有體積小、結(jié)構(gòu)

2、簡單、線性力-行程、高速和高加速度等特性,在精密儀器儀表和微/納米加工測量領(lǐng)域有著廣泛地研究前景。
　　 本論文通過對市場現(xiàn)有隔振產(chǎn)品以及國內(nèi)外大量科研文獻(xiàn)的參考和研究,采用了雙層主動(dòng)與被動(dòng)相結(jié)合的混合振動(dòng)隔離系統(tǒng)。在利用動(dòng)力學(xué)模型和Matlab工具軟件分析、仿真了一維被動(dòng)隔振系統(tǒng)、一維主動(dòng)隔振系統(tǒng)、雙層被動(dòng)隔振系統(tǒng),以及音圈電機(jī)用于主動(dòng)吸振器的效果的基礎(chǔ)上,結(jié)合本實(shí)驗(yàn)室原有恒溫箱和箱體內(nèi)的測量平臺的結(jié)構(gòu),設(shè)計(jì)了新的恒溫箱總成體

3、的隔振方案,提高了恒溫箱總成體的隔振適應(yīng)性。
　　 文中針對這種混合隔振系統(tǒng),設(shè)計(jì)了Fuzzy-PID控制器,并利用Matlab工具軟件仿真、比較了不同振動(dòng)干擾輸入時(shí),該混合隔振系統(tǒng)與被動(dòng)隔振系統(tǒng)的表現(xiàn)。仿真結(jié)果表明,該混合隔振系統(tǒng)對低頻微振動(dòng)的抑制、隔離效果明顯優(yōu)于被動(dòng)隔振系統(tǒng)。
　　 并以TI的DSPTMS320F2812為運(yùn)算控制核心,設(shè)計(jì)了該混合隔振系統(tǒng)的控制硬件電路。在參考μC/OS-Ⅱ中的時(shí)鐘節(jié)拍和消息隊(duì)列思