LCD真空貼合基板吸附和剝離關(guān)鍵技術(shù)的研究.pdf

1、TFT-LCD（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display）是主流的平板顯示技術(shù)， TFT-LCD生產(chǎn)設(shè)備的技術(shù)性能決定著液晶顯示面板的生產(chǎn)工藝水平。中航光電子液晶顯示面板向小尺寸轉(zhuǎn)型，部分設(shè)備的性能不能滿足小尺寸面板的工藝技術(shù)要求。本文針對(duì)真空貼合設(shè)備在對(duì)應(yīng)小尺寸面板時(shí)面板存在顯示漏光和液晶屏氣泡的問(wèn)題，對(duì)真空貼合設(shè)備工藝流程、真空條件下基板吸附和剝離技術(shù)開(kāi)展研究，做了以下的研究工作：

2、>　　真空貼合制品缺陷分析和新工藝模型建立，論文分析了真空貼合設(shè)備結(jié)構(gòu)和工藝原理，提出了表征基板貼合精度的工藝參數(shù)，分析了液晶面板顯示漏光和液晶屏氣泡缺陷產(chǎn)生的原因，建立了新的工藝模型，對(duì)真空貼合設(shè)備提出了改進(jìn)的設(shè)計(jì)方案，并分析了其實(shí)現(xiàn)的可行性。
　　基板吸附和剝離單元的設(shè)計(jì)和可靠性驗(yàn)證，設(shè)計(jì)新型的粘性橡膠吸附單元和高壓氣囊剝離單元，通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了其動(dòng)作的可靠性，通過(guò)制品驗(yàn)證了新型基板吸附和剝離單元不會(huì)造成面板不良。定盤(pán)和電氣系統(tǒng)